半导体和集成电路制造过程的气氛保护,清洗,化学品回收等。制造了用于半导体硅行业的专用PSA制氮机,成功的取代了液氮,该系统在香港已无间歇运行。PSA制氮机具有气量大、体积小、寿命长的特点。其工作原理是以经除尘、除油、除水、除菌的洁净压缩空气作为原料,用碳分子筛作为吸附剂, 利用变压吸附的原理制取氮气。